由于半导体行业的特殊性，芯片的制造、加工工艺非常复杂。半导体工业生产中，从单片到制成最终产品，需经历数十甚至上百道工序，随着制程技术层次的提升、复杂度的增加，单片成本不断上涨，意外或异常现象造成的生产损失也变得相对严重。为加强电子器件的高品质管控，大幅减少产品缺陷率，助力半导体企业提升良率和生产效率，在制造过程中导入残余气体分析仪，成为半导体制程工艺中一种行之有效的检测手段。
残余气体分析仪RGA Residual Gas Analyzer
作为线上同步制程监测工具，是质谱仪mass spectrometer的一个分支。质谱分析是一种将化学物质转化为气相离子，利用运动离子在电场和磁场中偏转原理，分离不同质荷比（mass-to-charge ratio质量-电荷比）离子的检测分析方法。每种气体分子的质量具有唯一性，即物质的指纹谱特点。通过测量电离气体分子的质量数，可以精确识别气体分子的种类。每种质量数的离子信号强度决定了这种气体的分压强，或者混合气体组份中这种气体的含量。
通过动态分析真空系统中各种气体分压强的变化，可以有效监控真空环境工艺的条件，为各种真空工艺达到可测、可控、可重复提供了有效的工具。RGA因具有强大的快速定性能力和高灵敏度，其必须性被一再地认可。
奕瑞科技推出完全具有自主知识产权的QRGA OIS系列残余气体分析仪，将其整合到智能制造系统中，将有力地辅助生产、极大地提升效率。这一产品的问世的意义不仅在一定程度上提高了生产效率，更在于关键核心部件的国产化方面实现了跨越式进步，可应用于半导体制造、显示面板制造（包括OLED）领域。
QRGA OIS系列残余气体分析仪八大优势
■ 稳定
可切换双灯丝设计，确保仪器长期稳定运行
■ 灵活
可选不同材质灯丝（W&Ir/Y2O3），适配多种生产工艺需求
■ 便捷
模块化设计的离子源及检测器组件，维护更简单
■ 实时精准
高精度四极杆加工工艺可获得极高的信噪比和大动态范围
■ 高效
强劲的嵌入式测控系统可快速地测量与处理数据
■ 智能
集合数据采集、分析、对比等诸多功能的强大软件，实现自动化控制与错误报警
■ 灵敏可靠
QRGA OIS系列残余气体分析仪在中、高真空环境下工作，灵敏度高，可检分压低，耐烘烤
■ 界面友好
交互式界面，强大的任务管理功能，可自定义设置分析任务
RGA安装在机台真空环境中，凭借良好的稳定性和可靠性，实现工艺过程中复杂气体组分的实时监测。直观的RGA数据呈现，可以判别对制程有严重影响的污染物，监测工艺气体纯度及其流量控制的稳定性，检测真空系统内部放气/死区放气等内漏及外漏情况。
奕瑞科技秉承让世界更安全，让分析更精准的理念，坚持不断创新以满足客户多样化的需求，奕瑞科技RGA团队通过技术吸收和自主创新，也将适时推出可用于半导体制造、显示面板制造（包括OLED）、真空镀膜市场的QRGA CIS系列、QRGA HP系列残余气体分析仪，同时提供RGA关键部件的维护服务。为半导体工艺提供专业检测支持，提供系列化产品及完整的解决方案。
